フレキシブルエレクトロニクスに向けた
酸化物半導体トランジスタ・ショットキーダイオードに関する研究

研究概要

　本研究は、薄く・軽く・折り曲げられるといった形状自由度の高いフレキシブルエレクトロニクスの実現に向けた研究です。私たちはプラスチックやフィルムなどの伸縮性を有する基板上に高性能な酸化物半導体トランジスタやショットキーダイオードなどの作製を試みています。この実現にはデバイス作製時のプロセス温度をプラスチック基板の耐熱温度(~150℃)以下にしなければなりません。私たちは酸化物半導体成膜プロセス・低温熱処理プロセス・デバイス構造などを工夫することで作製温度の低温化に成功しフレキシブルな高性能トランジスタやダイオードを実現してきました。これらはフレキシブルディスプレイやウェアラブルなセンサーへの応用が期待されます。